洁净室无尘室的等级区分
更新时间：2018-06-10
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洁净室无尘室的等级区分无尘布的适用范围很广,只有洁净要求比较高的,都会用到,比如,LCD组装,或是一些表面清洁等 无尘室根据洁净程度不同分很多等级 目前各半导体加工和面板组装厂的无尘室等级大都为1000级和100级的居多 数字越小,洁净等级越高 1000级的概念是:每立方英尺内,大于等于0.5的灰尘颗粒不能超过1000颗 100级的概念是:每立方英尺内,大于等于0.3的灰尘颗粒不能超过100颗 注意了,每个等级所管控的颗粒大小也不一样 依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Atandard(FS)209E，1992】，可将无尘室分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级，如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述，则可假设尘粒的尺寸不是0.5um，无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如：10级在0.2um(尘粒尺寸在0.2um或更大下，密度不大于75颗/立方英尺)，1级在0.1um(尘粒尺寸在0.1um或更大下，密度不大于35颗/立方英尺)。而集成电路制造所需的无尘室之洁净度必须优于1000级。 无尘室等级，无尘室标准，无尘室标准定义
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